截至10月17日14:52，上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)下跌4.37%。成分股方面，神工股份領(lǐng)跌8.21%，華海誠科下跌7.79%，晶升股份下跌6.77%，有研硅下跌6.03%，龍圖光罩下跌5.79%?？苿?chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）下跌4.28%。

流動性方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF盤中換手29.14%，成交9.45億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至10月16日，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1周日均成交8.25億元，領(lǐng)先同類。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1周規(guī)模增長4.87億元，實現(xiàn)顯著增長。截至2025年10月16日，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF規(guī)模33.51億元，領(lǐng)先同類。

相關(guān)ETF：公開信息顯示， 科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF （588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中半導(dǎo)體設(shè)備 （61%）和半導(dǎo)體材料（23%）細(xì)分領(lǐng)域的硬科技公司。 半導(dǎo)體設(shè)備 和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領(lǐng)域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導(dǎo)體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術(shù)進展。

半導(dǎo)體材料ETF （562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357），指數(shù)中半導(dǎo)體設(shè)備（61%）、半導(dǎo)體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導(dǎo)體上游。